用于同步辐射软X射线吸收谱学的部分电子产额探测装置

专利主权项内容

1.一种用于同步辐射软X射线吸收谱学的部分电子产额探测装置，其特征在于，包括：束流监测装置，用于测量同步辐射光束流强度而产生第一电流信号；真空系统，用于放置样品，所述样品被经过所述束流监测装置的同步辐射光照射；探测器，安装于所述真空系统，用于测量所述样品经同步辐射光辐照后出射的电子而产生第二电流信号，其中，所述探测器的前端内包括同轴安装的栅极组件，所述栅极组件位于微通道板组件的输入端，包括三级金属栅网、电极端子和环状绝缘部件，三级金属栅网的两两之间通过环状绝缘部件电性绝缘，第一级金属栅网和屏蔽罩电性连接并接地，第二级金属栅网和第三级金属栅网通过电极端子与后端的真空电极电性连接，所述第二级金属栅网的工作电压为+50～+150伏特，所述第三级金属栅网的工作电压为-150～-500伏特；数据采集控制单元，连接光束线单色器、所述束流监测装置和所述探测器，用于控制所述光束线单色器进行能量扫描，采集所述第一电流信号和所述第二电流信号，生成软X射线吸收谱图结果。