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一种维持动态压力的电负性气体喷射装置
摘要文本
本发明公开了一种维持动态压力的电负性气体喷射装置，包括气压维持仓，气压维持仓内设有活塞，活塞与螺杆传动装置连接，螺杆传动装置与步进电机连接，气压维持仓设有注气口、出气口和气压表，注气口和出气口分别设有电磁阀控制。气压维持仓设有活塞位置检测装置。气压表、电磁阀控制、步进电机的控制单元和活塞位置检测装置分别与控制系统连接。出气口与产生等离子体的真空室相连，注气口与电负性气体气瓶相连，能够动态维持气压，维持电负性气体释放速度稳定，从而保证物理实验结果的精确性。解决了电负性气体释放中气压不断下降的问题。
申请人信息
- 申请人:中国科学技术大学
- 申请人地址:230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 发明人: 中国科学技术大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种维持动态压力的电负性气体喷射装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201810474988.3 |
| 申请日 | 2018/5/17 |
| 公告号 | CN108803693B |
| 公开日 | 2024/3/29 |
| IPC主分类号 | G05D16/20 |
| 权利人 | 中国科学技术大学 |
| 发明人 | 刘宇; 雷久侯; 曹金祥; 余鹏程; 李敏迟 |
| 地址 | 安徽省合肥市包河区金寨路96号 |
专利主权项内容
1.一种维持动态压力的电负性气体喷射装置，其特征在于，包括气压维持仓，所述气压维持仓设有注气口、出气口，所述注气口和出气口分别设有电磁阀控制；所述注气口与电负性气体气瓶相连以向所述气压维持仓中注入电负性气体；所述出气口与产生等离子体的真空室相连；在直接将所述电负性气体经过减压注入到等离子体内的过程中，所述气压维持仓用于以稳定速度向所述等离子体注入所述电负性气体；所述气压维持仓内设有活塞，所述活塞与螺杆传动装置连接，所述螺杆传动装置与步进电机连接，所述气压维持仓还设有气压表；其中，所述气压维持仓的使用过程包括：在所述气压维持仓注满所述电负性气体且所述气压维持仓的气压与所述电负性气体气瓶持平时，关闭所述注气口；若压缩所述气压维持仓达到所需的气压，则打开所述出气口以向所述等离子体内注入所述电负性气体；在向所述等离子体内注入所述电负性气体的过程中，基于气压表数据和当前活塞位置确定所述活塞需要移动的距离以控制步进电机在等离子体输入功率700W时实现等离子体电子密度的降低。 来自马-克-数-据-官网