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一种测试机的控制方法、装置、介质及电子设备

申请号: CN201811058604.6
申请人: 长鑫存储技术有限公司
申请日期: 2018/9/11

摘要文本

本发明提供了一种测试机的控制方法、装置、介质及电子设备,测试机的侧壁设置有抖动数据采集器,用于采集测试机工作时所产生的抖动数据;该测试机的控制方法包括:接收抖动数据采集器采集的抖动数据;将抖动数据与预设的阈值进行对比,获得对比结果;基于对比结果实现控制测试机的工作状态。本发明实施例的技术方案能够及时的发现测试机不稳定现象并及时维修,大幅度降低了测试时间与测试成本,减少了非芯片因素产生的报废品率。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种测试机的控制方法、装置、介质及电子设备
专利类型 发明授权
申请号 CN201811058604.6
申请日 2018/9/11
公告号 CN109283450B
公开日 2024/1/23
IPC主分类号 G01R31/28
权利人 长鑫存储技术有限公司
发明人 陆玉斌
地址 安徽省合肥市经济开发区空港工业园兴业大道388号

专利主权项内容

1.一种测试机控制装置,其特征在于,所述测试机控制装置连接于抖动数据采集器和测试机,所述测试机的侧壁设置有抖动数据采集器,用于采集所述测试机工作时所产生的抖动数据;具体包括:接收模块,用于接收所述抖动数据采集器采集的抖动数据;对比模块,用于将所述抖动数据与预设的阈值进行对比,获得对比结果,所述阈值的绝对值小于所述测试机中测试弹簧针的正常弹性抖动范围的绝对值;控制模块,用于基于所述对比结果实现控制所述测试机的工作状态以避免所述测试机的不稳定造成被测试的芯片或晶圆被压坏;所述测试机控制装置还用于:每当所述抖动数据采集器设置于所述测试机的侧壁时,对所述抖动数据采集器进行归零初始化,确定出基准水平面;当所述测试机进行作业时,所述抖动数据采集器随所述测试机抖动而连续地偏离所述基准水平面,产生多个偏离角度值;将所述多个偏离角度值转换为数字信号后,生成抖动数据。