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废气处理系统及方法

申请号: CN201811340431.7
申请人: 长鑫存储技术有限公司
申请日期: 2018/11/12

摘要文本

本发明提供的一种废气处理处理系统及方法,包括相互连通的洗涤室、燃烧室及回收室,当所述燃烧室中通入设定气体时,将所述洗涤室的第一进水管道上的第一气动阀开启,所述回水管道上的第三气动阀关闭,通过所述第一进水管道向所述洗涤室中通入第二设定流量的洗涤水;当未通入设定气体时,所述第一气动阀关闭,所述第三气动阀开启,且所述回收室中的回收水通过所述第一回水管道重新流入所述洗涤室中循环利用,在通入和未通入设定气体时,采用不同的用水模式,在保证废气处理效果的情况下还能节约用水,降低了设备的运转成本。。百度搜索马 克 数 据 网

专利详细信息

项目 内容
专利名称 废气处理系统及方法
专利类型 发明授权
申请号 CN201811340431.7
申请日 2018/11/12
公告号 CN111167266B
公开日 2024/3/29
IPC主分类号 B01D53/18
权利人 长鑫存储技术有限公司
发明人 请求不公布姓名; 请求不公布姓名
地址 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

专利主权项内容

1.一种废气处理方法,其特征在于,提供废气处理系统,所述废气处理系统包括洗涤室、燃烧室及回收室,所述洗涤室及所述燃烧室均与所述回收室连通;所述洗涤室具有第一进水管道,用于接收洗涤水并将所述洗涤水通入至所述洗涤室中,并且所述第一进水管道上设置有第一气动阀;所述回收室具有第二进水管道,用于接收洗涤水并将所述洗涤水通入至所述回收室中,并且所述第二进水管道上设置有第二气动阀,并且所述回收室和所述洗涤室之间还通过一第一回水管道连通,所述第一回水管道上设置有第三气动阀;所述废气处理系统还包括第二回水管道,所述第二回水管道连通所述回收室及所述燃烧室,所述第二回水管道呈一直流通的状态;所述第二气动阀间隔一设定时间开启,以通过所述第二进水管道向所述回收室通入第一设定流量的洗涤水;当所述燃烧室中通入有设定气体时,所述第一气动阀开启,所述第三气动阀关闭,以通过所述第一进水管道向所述洗涤室中通入第二设定流量的洗涤水,所述第一设定流量小于所述第二设定流量;当所述燃烧室中未通入所述设定气体时,所述第一气动阀关闭,所述第三气动阀开启,并使所述回收室中的回收水通过所述第一回水管道重新流入所述洗涤室中,所述设定气体为酸性气体。