一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备
摘要文本
本发明公开了一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备，包括差分真空室、抽气机组、差分真空规、进气口真空规、四级杆质谱计、插板阀一、插板阀二、微调阀、角阀和真空管路，所述差分真空室底部通过插板阀一与抽气机组相连接，差分真空室侧面有两个接口法兰，其中一个所述接口法兰通过三通分别与差分真空规和四级杆质谱计连接；本发明的有益效果是：该设备可以实现a大量程，b移动式，c自动调节采样率，d气体成分分析多样性，该设备能够有效地分析内真空中的残余气体成分有助于分析气体成分的主要来源，从而采取针对性措施提高真空度；该设备具有良好的社会效益，适合推广使用。。 （来 自 马 克 数 据 网）
申请人信息
- 申请人:合肥中科离子医学技术装备有限公司
- 申请人地址:230088 安徽省合肥市高新区望江西路860号创新大厦816室
- 发明人: 合肥中科离子医学技术装备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201811505426.7 |
| 申请日 | 2018/12/10 |
| 公告号 | CN109390204B |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | H01J49/02 |
| 权利人 | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 |
| 发明人 | 宋云涛; 沈国清; 杨庆喜; 陈根; 陈永华 |
| 地址 | 安徽省合肥市高新区望江西路860号创新大厦816室 |
专利主权项内容
1.一种大量程可调节移动式真空质谱测量设备，其特征在于：包括差分真空室、抽气机组、差分真空规、进气口真空规、四级杆质谱计、插板阀一、插板阀二、微调阀、角阀和真空管路，所述差分真空室底部通过插板阀一与抽气机组相连接，差分真空室侧面有两个接口法兰，其中一个所述接口法兰通过三通分别与差分真空规和四级杆质谱计连接，另一个所述接口法兰通过三通分别与两条差分支路连接，两条所述差分支路通过一个三通和四通相连接, 所述真空管路包括波纹管一和波纹管二；所述波纹管一的内径为φ35mm，且所述波纹管二的内径为φ16mm；其中，插板阀二所在支路通过波纹管一连接；微调阀所在支路通过波纹管二连接，所述四通上还连接有进气口真空规；所述进气口真空规通过四通连接有角阀，且进气口真空规设置在角阀与插板阀二之间；所述差分真空室、插板阀二、进气口真空规和角阀内部之间相互连通；插板阀二通过四通连接有微调阀；工作方法包括以下步骤：步骤一：将大量程可调节移动式真空质谱测量设备的抽气机组运行，使内部差分真空室内部达到10Pa的极限真空，差分支路上阀门处于关闭状态；-5步骤二：将大量程可调节移动式真空质谱测量设备与主真空室连通，进气口真空规读取与主真空连接处真空，通过软件判断，实现阀门的开合；其中，阀门的工作范围如下：a)在主真空处于10～10Pa的情况下，通过软件控制微调阀的开合度实现差分真空室内真空度维持在10～10Pa；5-1-2-3b)在主真空处于10～10Pa的情况下，通过软件控制微调阀和插板阀二打开。-2-5