一种可自动翻转的硅片放置机构

专利主权项内容

1.一种可自动翻转的硅片放置机构，其特征在于包括安装座、底板、模具、密封套、滑动吸取机构、进气通道、进气管、固定座、气缸、滑动板、支座、伺服电机、第一齿轮、转轴、第二齿轮、夹取机构、第一接近开关、第二接近开关，所述的底板位于安装座上端，所述的底板与安装座通过螺栓相连，所述的模具位于底板上端右侧，所述的模具与底板通过螺栓相连，所述的密封套贯穿底板，所述的密封套与底板螺纹相连，所述的滑动吸取机构贯穿模具且贯穿密封套，所述的滑动吸取机构可沿模具上下滑动，所述的模具还设有进气通道，所述的进气通道不贯穿模具主体，所述的进气管位于模具外侧，所述的进气管与模具螺纹相连，所述进气管的腔体与进气通道的腔体互通，所述的固定座位于底板上端左侧，所述的固定座与底板通过螺栓相连，所述的气缸位于固定座左侧，所述的气缸与固定座通过螺栓相连，所述的滑动板位于底板上端左侧且位于气缸右侧，所述的滑动板与气缸螺纹相连，所述的滑动板可以沿底板左右滑动，所述的支座位于滑动板顶部，所述的支座与滑动板通过螺栓相连，所述的伺服电机位于支座上端左侧，所述的伺服电机与支座通过螺栓相连，所述的转轴贯穿支座，所述的第一齿轮位于伺服电机右侧，所述的第一齿轮与伺服电机键相连，所述的转轴与支座转动相连，所述的第二齿轮位于第一齿轮下端且被转轴贯穿，所述的第二齿轮与第一齿轮啮合相连且与转轴键相连，所述的夹取机构位于转轴右侧，所述的夹取机构与转轴螺纹相连，所述的第一接近开关位于底板上端中部，所述的第一接近开关与底板通过螺栓相连，所述的第二接近开关贯穿固定座，所述的第二接近开关与固定座螺纹相连；所述的模具还设有定位槽，所述的定位槽位于模具顶部，所述的定位槽不贯穿模具主体；所述的滑动吸取机构还包括直管、活塞、第一弹簧、吸取块、橡胶垫，所述的直管贯穿模具且贯穿密封套，所述的活塞位于直管外侧，所述的活塞与直管螺纹相连，所述的第一弹簧位于直管外侧且位于活塞上端，所述的吸取块位于直管上端，所述的吸取块与直管螺纹相连，所述的橡胶垫位于吸取块上端，所述的橡胶垫与吸取块粘接相连。