双腔准分子激光器的同步控制方法、控制设备及激光器

专利主权项内容

1.一种双腔准分子激光器的同步控制方法，其特征在于，所述双腔准分子激光器包括主振腔以及功率放大腔，所述主振腔超前功率放大腔预置时间进行放电，以使所述主振腔在放电结束后，所述功率放大腔基于主振腔输出的放电结果进行放电；所述方法包括：针对双腔准分子激光器的每次放电过程，采集对应的超前的预置时间，以及采集用于确定各个腔体放电的延时时间对应的参数，所述延时时间是指各个腔体对应的固态开关磁脉冲升压电源内功率开关器件从发送指示放电的放电信号到对应腔体放电结束所存在的延时时间；根据采集到的预置时间、参数以及预置的控制关系，确定下一次放电的预置时间，以用于确定各个腔体对应放电信号之间对应的预置时间，以进行对应放电信号的触发，所述对应放电信号用于触发对应腔体进行放电。