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激光器的周期同步控制方法、设备及双腔准分子激光器
摘要文本
本申请实施例提供一种激光器的周期同步控制方法、设备及双腔准分子激光器。在本申请实施例中,针对激光器的每次放电过程,当其中一个腔对应的充电电压存在变化,更新设定的第二时间,第二时间为预设的第一时间;当每个腔对应的充电电压不变后,采集各个腔体对应的放电信号,根据采集到的放电信号,确定第一时间;确定第一时间与第二时间的差值是否大于或等于时间阈值,若是,则根据差值对第二时间进行调整,确定下一次放电过程对应的第一时间,以进行每个腔的下一次放电。由此通过在充电电压变化后,对第二时间进行更新,以及对下次放电的第一时间的确定,可以满足激光器在单脉冲周期内就可调放电延时的需求。 马 克 数 据 网
申请人信息
- 申请人:北京科益虹源光电技术有限公司
- 申请人地址:100176 北京市大兴区经济技术开发区融兴北一街19号院中寰工程4号楼一层
- 发明人: 北京科益虹源光电技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 激光器的周期同步控制方法、设备及双腔准分子激光器 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202211685343.7 |
| 申请日 | 2022/12/27 |
| 公告号 | CN117543323A |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | H01S3/10 |
| 权利人 | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 发明人 | 曹沛; 徐向宇; 李学; 张晨阳; 袁钊; 马亚坤 |
| 地址 | 北京市大兴区经济技术开发区融兴北一街19号院中寰工程4号楼一层 |
专利主权项内容
1.一种激光器的周期同步控制方法,其特征在于,所述激光器包括主振腔以及功率放大腔,所述主振腔超前功率放大腔第一时间进行放电,所述主振腔在放电结束后向功率放大腔提供满足预置线宽的种子光,以使所述功率放大腔基于所述种子光进行放电输出满足预置功率的光源;所述方法包括:针对激光器的每次放电过程,当其中一个腔对应的充电电压存在变化,更新设定的第二时间,所述第二时间为预设的第一时间;当每个腔对应的充电电压不变后,采集各个腔体对应的放电信号,根据采集到的放电信号,确定所述第一时间;确定所述第一时间与第二时间的差值是否大于或等于时间阈值,若是,则根据所述差值对第二时间进行调整,确定下一次放电过程对应的第一时间,以进行每个腔的下一次放电。