一种用于集成电路生产线的离子注入机

专利主权项内容

1.一种用于集成电路生产线的离子注入机，包括支撑框架、离子注入机构、照射箱组件、扰流机构，其特征在于：还包括吸尘除尘组件；箱门上设有承载框洞；所述吸尘除尘组件转动连接在承载框洞上，包括转动承载板、固定在容纳腔的内部的内置泵体、固定在容纳腔的内壁上的承载隔板、第一挤压环、第二挤压环、第一卷筒、第二卷筒、覆胶带体和卷筒定位组件；所述转动承载板内部空间为容纳腔；所述转动承载板面积最大的两个面的其中之一上设有透出孔，透出孔的上方和下方均设置有透出槽；所述第一挤压环和第二挤压环均为弹性囊，相对设置，均与内置泵体连通；所述第二挤压环固定在容纳腔内与第一挤压环所在的面相对的面上；所述第一卷筒和第二卷筒通过卷筒定位组件定位在转动承载板上；所述覆胶带体为一面涂满了不干胶的弹性带体，两端分别缠绕定位在第一卷筒和第二卷筒上，从位于上方的透出槽中穿入容纳腔，而后从第一挤压环和第二挤压环穿过后从位于下方的透出槽穿出。