一种半导体新材料制备用小尺寸反应釜
摘要文本
本发明涉及半导体新材料制备领域，针对现有的人工物理清洗小尺寸反应釜的内侧壁，需要耗费的时间过多，导致清洗效率较低的问题，提供了一种半导体新材料制备用小尺寸反应釜，包括釜体，釜体的顶部可拆卸连接有釜盖，釜盖的顶部设有用于搅拌原料的搅拌件，搅拌件延伸至釜体内, 釜体的内侧壁设有若干用于清洗釜体内侧壁的清洗件，釜体的侧壁还设有若干用于驱动清洗件转动的第一驱动件，第一驱动件通过驱动清洗件转动从而清洗釜体的内侧壁。通过上述设置，利用清洗件清洗釜体的侧壁，加快清洗釜体侧壁的速度，有利于减少人工物理清洗反应釜的情况，从而有利于提高清洗反应釜的效率。
申请人信息
- 申请人:广东林工工业装备有限公司; 林工(广东)智能装备有限公司
- 申请人地址:511466 广东省广州市南沙区南沙街珠电路69号之一
- 发明人: 广东林工工业装备有限公司; 林工(广东)智能装备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半导体新材料制备用小尺寸反应釜 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311841293.1 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN117482878B |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | B01J19/18 |
| 权利人 | 广东林工工业装备有限公司; 林工(广东)智能装备有限公司 |
| 发明人 | 吴国辉; 黄飞鸿; 高运华; 黄飞雁; 兰应飞; 冼景业; 杨林生 |
| 地址 | 广东省广州市南沙区南沙街珠电路69号之一; 广东省珠海市金湾区平沙镇升平大道东336号厂房-310室 |
专利主权项内容
1.一种半导体新材料制备用小尺寸反应釜，包括釜体(1)，其特征在于：所述釜体(1)的顶部可拆卸连接有釜盖(2)，所述釜盖(2)的顶部设有用于搅拌原料的搅拌件(3)，所述搅拌件(3)延伸至所述釜体(1)内；所述釜体(1)的内侧壁设有若干用于清洗所述釜体(1)内侧壁的清洗件(4)，所述釜体(1)的侧壁还设有若干用于驱动所述清洗件(4)转动的第一驱动件(12)，所述第一驱动件(12)通过驱动所述清洗件(4)转动清洗所述釜体(1)的内侧壁；所述清洗件(4)包括设于所述釜体(1)内侧壁的若干清洗管(41)，所述清洗管(41)的一端与第一驱动件(12)转动连接，所述清洗管(41)远离第一驱动件(12)的一端突出有若干气囊(42)，所述气囊(42)呈长条状，且所述气囊(42)在充气状态下贴于所述釜体(1)的内侧壁设置，所述气囊(42)的外侧壁突出有若干用于洗刷所述釜体(1)内侧壁的刷毛(43)；所述清洗管(41)设有用于驱动气囊(42)突出于所述清洗管(41)外或收缩于所述清洗管(41)内的第二驱动件，所述第二驱动件包括设于釜体(1)外的气泵(52)以及与气泵(52)连通的连接管(51)，所述连接管(51)围设于所述清洗管(41)的外侧壁，所述清洗管(41)贯穿所述连接管(51)的两端，所述连接管(51)与所述清洗管(41)转动连接，所述清洗管(41)置于所述连接管(51)内的侧壁开有若干与所述连接管(51)连通的连接孔(53)；所述釜体(1)的内侧壁凹陷有供所述连接管(51)滑动连接的滑动槽(13)，所述滑动槽(13)的槽口设有用于开闭所述滑动槽(13)槽口的盖板(15)，所述清洗管(41)靠近所述第一驱动件(12)的一端连接有伸缩杆(44)，所述伸缩杆(44)远离所述清洗管(41)的一端与所述第一驱动件(12)转动连接，当所述连接管(51)远离槽口的一侧与所述滑动槽(13)的槽底抵接时，所述清洗管(41)完全置于滑动槽(13)内；所述釜体(1)的侧壁还设有用于联动所述连接管(51)随所述搅拌件(3)转动而同步驱动所述连接管(51)朝所述釜体(1)中轴线的方向运动的联动件；所述联动件包括突出于所述盖板(15)远离所述滑动槽(13)的一侧的联动板，所述盖板(15)设有用于始终驱动所述盖板(15)朝所述滑动槽(13)底部的方向转动的第一弹性件，所述连接管(51)的外侧壁设有用于始终驱动所述连接管(51)朝远离所述滑动槽(13)槽底的方向移动的第二弹性件(6)，当所述盖板(15)关闭所述滑动槽(13)的槽口时，所述第二弹性件(6)的弹力小于所述第一弹性件的弹力，当所述盖板(15)打开滑动槽(13)的槽口，且所述第二弹性件(6)处于平衡状态时，所述清洗管(41)远离所述第一驱动件(12)的一端置于所述滑动槽(13)外。