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一种基于人工智能的调控预警系统及方法

申请号: CN202311468859.0
申请人: 无锡迪渊特科技有限公司
申请日期: 2023/11/7

摘要文本

本发明公开了一种基于人工智能的调控预警系统及方法,属于半导体调控领域,该调控预警系统包括数据采集模块、智能管理模块、天车分析模块和天车调控模块,数据采集模块用于对运输晶圆的天车运行数据和过渡区数据进行采集,智能管理模块用于对采集的数据和分析结果进行安全存储和调整,天车分析模块用于对目标天车进行筛选,对天车运输分配方案进行分析,天车调控模块用于根据分析结果,对目标天车的运输情况进行智能调控。本发明根据采集的数据,对目标天车及对应的目标过渡区进行筛选,选择最佳分配方案,对目标天车进行调控,当出现异常情况时,对相关技术人员进行预警提醒,节省成本,提高了天车的空间使用效率,提高了半导体运输效率。 www.macrodatas.cn

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种基于人工智能的调控预警系统及方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202311468859.0
申请日 2023/11/7
公告号 CN117610821A
公开日 2024/2/27
IPC主分类号 G06Q10/0631
权利人 无锡迪渊特科技有限公司
发明人 王金裕
地址 江苏省无锡市新吴区锡泰路566号云智科技园6号

专利主权项内容

1.一种基于人工智能的调控预警方法,其特征在于:包括下列步骤:S1、获取天车运行轨道路线,对各个天车对应的负载情况进行监测,并对轨道中的各个过渡区进行编号,及运行中的各个天车进行编号;S2、实时获取轨道路线中各个过渡区的晶圆参数信息,并结合各个编号天车对应的搬运信息分析不同过渡区对目标天车的影响情况,对过渡区进行筛选;S3、结合过渡区在不同天车运输晶圆受到的影响情况及天车运行数据信息,对目标天车前往目标过渡区情况进行分析,构建天车分配模型,得到目标天车对应的不同过渡区分配方案及相应分配方案的分配影响指数;S4、选取分配影响指数最小的分配方案作为最佳分配方案,根据分配方案,通过人工智能调整天车内的晶圆摆放顺序,当出现异常情况时,对相关技术人员进行报警提醒。