一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统

专利主权项内容

1.一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统，其特征在于，包括服务器，服务器通讯连接有图像拍摄检测单元、视觉缺陷检测单元以及电参数分析检测单元；服务器生成图像拍摄检测信号并将图像拍摄检测信号发送至图像拍摄检测单元，图像拍摄检测单元接收到图像拍摄检测信号后，对晶圆视觉检测过程中图像拍摄进行检测，获取到晶圆视觉检测时段，并采集晶圆视觉检测时段内图像拍摄时段，获取到图像拍摄时段内被检测晶圆的图像拍摄检测系数，根据图像拍摄检测系数比较生成图像拍摄检测异常信号或者图像拍摄检测正常信号，并将其发送至服务器；服务器接收到图像拍摄检测正常信号后，生成视觉缺陷检测信号并将视觉缺陷检测信号发送至视觉缺陷检测单元，视觉缺陷检测单元接收到视觉缺陷检测信号后，对当前被检测晶圆进行视觉缺陷检测，将被检测晶圆的拍摄视频划分为i个子帧图片，且i为大于1的自然数，并将子帧图片按照拍摄时间顺序进行排序，获取到被检测晶圆的视觉缺陷检测系数，根据视觉缺陷检测系数比较生成缺陷检测异常信号或者缺陷检测正常信号，并将其发送至服务器；服务器接收到缺陷检测正常信号后，生成电参数分析检测信号并将电参数分析检测信号发送至电参数分析检测单元，电参数分析检测单元接收到电参数分析检测信号后，对被检测晶圆的电参数进行分析检测，通过分析生成电参数检测异常信号或者电参数检测正常信号，并将其发送至服务器。