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一种传输机器人和晶圆运输机构
摘要文本
本发明涉及一种传输机器人和晶圆运输机构，包括AGV车身；承载底盘，设置于所述AGV车身的顶部；第一箱体，设置于所述承载底盘的中部；移载机构，包括设置于所述第一箱体的驱动件及机械手臂，所述机械手臂受所述驱动件驱动以进行作业；第一物料收纳单元，设置于所述第一箱体的一侧；第二物料收纳单元，设置于所述第一箱体的另一侧；其中，所述承载底盘上设置的各个部件使得所述AGV车身承重的重心大致位于该AGV车身的中间位置。本发明结构设计简单、灵活度高，从而能够在各个工作站台之间进行灵活转运，并且该传输机器人的空间布局合理、重心平衡，能够从两个方向对晶圆盒进行取放，有效节约作业空间，并且能够有效提升运输效率，并减少人力成本投入。 数据由马 克 数 据整理
申请人信息
- 申请人:苏州海通机器人系统有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇珠枫路1号天隆科技园3幢
- 发明人: 苏州海通机器人系统有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种传输机器人和晶圆运输机构 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311694960.8 |
| 申请日 | 2023/12/11 |
| 公告号 | CN117672936A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 苏州海通机器人系统有限公司 |
| 发明人 | 请求不公布姓名; 请求不公布姓名; 请求不公布姓名 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中区木渎镇珠枫路1号天隆科技园3幢 |
专利主权项内容
1.一种传输机器人，其特征在于：包括，AGV车身，用以移动及承载；承载底盘，设置于所述AGV车身的顶部；第一箱体，设置于所述承载底盘的中部；移载机构，包括设置于所述第一箱体的驱动件，及从所述第一箱体顶部向外延伸的机械手臂，所述机械手臂受所述驱动件驱动以进行作业；第一物料收纳单元，设置于所述第一箱体的一侧，该第一物料收纳单元具有第一朝向的第一开口，以用于将待传输物料从所述第一开口收纳至所述第一物料收纳单元的内部空间；第二物料收纳单元，设置于所述第一箱体的另一侧，该第二物料收纳单元具有与所述第一朝向相反的第二朝向的第二开口，以用于将待传输物料从所述第二开口收纳至所述第二物料收纳单元的内部空间；电控模块，分散设计在所述第一箱体、第一物料收纳单元和第二物料收纳单元的至少部分空间内；其中，所述承载底盘上设置的各个部件使得所述AGV车身承重的重心大致位于该AGV车身的中间位置。 更多数据：