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一种晶圆盒搬运机构及其搬运方法
摘要文本
本发明公开了一种晶圆盒搬运机构，包括机架；夹爪机构，包括纵向平移组件、横向伸缩臂以及夹爪组件；所述横向伸缩臂一端固设于所述纵向平移组件的输出端，所述夹爪组件固设于所述横向伸缩臂的自由端；所述夹爪组件借助所述纵向平移组件和所述横向伸缩臂的带动下在纵向和横向平移；竖直升降机构；所述纵向平移组件固设于所述竖直升降机构的输出端，以带动所述夹爪组件在竖直方向平移，通过夹爪机构和竖直升降机构配合，竖直升降机构带动夹住机构竖直方向平移，通过夹爪机构内的横向伸缩臂，实现三级联动，从而带动夹爪组件快速的移动切换，缩短移动时间，提高效率。 更多数据：搜索马克数据网来源：www.macrodatas.cn
申请人信息
- 申请人:浙江大族富创得科技有限公司
- 申请人地址:314200 浙江省嘉兴市平湖市新埭镇创新路139号内第3幢313室
- 发明人: 浙江大族富创得科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆盒搬运机构及其搬运方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311357136.3 |
| 申请日 | 2023/10/17 |
| 公告号 | CN117438366A |
| 公开日 | 2024/1/23 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 浙江大族富创得科技有限公司 |
| 发明人 | 方俊康; 李壮 |
| 地址 | 浙江省嘉兴市平湖市新埭镇创新路139号内第3幢313室 |
专利主权项内容
1.一种晶圆盒搬运机构，其特征在于：包括机架(10)；夹爪机构(20)，包括纵向平移组件(29)、横向伸缩臂以及夹爪组件(25)；所述横向伸缩臂一端固设于所述纵向平移组件(29)的输出端，所述夹爪组件(25)固设于所述横向伸缩臂的自由端；所述夹爪组件(25)借助所述纵向平移组件(29)和所述横向伸缩臂的带动下在纵向和横向平移；竖直升降机构(30)；所述纵向平移组件(29)固设于所述竖直升降机构(30)的输出端，以带动所述夹爪组件(25)在竖直方向平移。