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晶圆传输装置的通信方法及电路控制模块
摘要文本
本申请提供了晶圆传输装置的通信方法及电路控制模块，属于晶圆设备制造技术领域。晶圆传输装置的通信方法包括电路控制模块可接收主机台传输的动作信号并执行相应动作；每个动作信号包括预设有安全动作指令的默认信号段和调节信号段；主机台可通过设置调节信号段增加或修改动作信号，以调节晶圆传输装置执行的动作。本申请可以在晶圆传输装置内部预先将安全动作信号调试完成，以保证晶圆传输装置执行安全动作时的稳定性和可靠性，同时可以通过设置调节信号段，使得主机台可以通过调节信号段，调节晶圆传输装置执行的动作，以适配晶圆加工主机台的需求，从而使得晶圆传输装置可以适配不同晶圆加工的主机台，降低晶圆传输装置的制造维护成本。 更多数据：搜索马克数据网来源：www.macrodatas.cn
申请人信息
- 申请人:浙江大族富创得科技有限公司
- 申请人地址:314000 浙江省嘉兴市平湖市新埭镇创新路139号内第3幢313室
- 发明人: 浙江大族富创得科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 晶圆传输装置的通信方法及电路控制模块 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311716928.5 |
| 申请日 | 2023/12/14 |
| 公告号 | CN117412197B |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | H04Q1/02 |
| 权利人 | 浙江大族富创得科技有限公司 |
| 发明人 | 刘进; 刘昌胜; 刘楠; 方伟 |
| 地址 | 浙江省嘉兴市平湖市新埭镇创新路139号内第3幢313室 |
专利主权项内容
1.一种晶圆传输装置的通信方法，所述晶圆传输装置包括电路控制模块，且所述晶圆传输装置通过所述电路控制模块与主机台通信连接，其特征在于：所述晶圆传输装置的电路控制模块内置有第一通信方式，并通过所述第一通信方式与外部进行信息交互；所述第一通信方式包括通过第一通讯协议交互和通过通信接口交互；所述电路控制模块设置有信号转接模块，所述信号转接模块用于将所述第一通信方式转化为第二通讯协议，使得所述电路控制模块通过所述第二通讯协议与外部的主机台进行信息交互；所述电路控制模块可接收所述主机台传输的动作信号，使所述电路控制模块根据所述动作信号控制所述晶圆传输装置执行相应动作；每个所述动作信号包括预设有安全动作指令的默认信号段和预设为空的调节信号段；所述主机台可通过设置调节信号段增加或修改所述动作信号，以调节所述晶圆传输装置执行的动作。。马-克-数据