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一种DLC溅射等离子涂层工艺及涂层装置
摘要文本
本发明属于等离子涂层技术领域，具体的说是一种DLC溅射等离子涂层工艺及涂层装置，包括真空室，所述真空室顶端安装有固定架，所述固定架的底端固接有喷射组件，所述喷射组件包括喷射源、靶材，所述真空室的内部且位于喷射组件的下方转动连接有转动架，所述转动架通过外部伺服电机驱动，所述转动架的外部均匀开设有多个安装槽，所述安装槽外部设置有弹性限位框架，所述转动架的内部插接有连接架，所述连接架的内部固接有多个偏压电极，多个所述偏压电极与安装槽一一对应；通过供电组件的设计，使得转动架内部的其他的偏压电极不需要时刻供电，实现了仅对待加工的工件进行通电镀覆的效果，达到了节省能源的目的。
申请人信息
- 申请人:科廷表面科技(浙江)有限公司
- 申请人地址:314299 浙江省嘉兴市平湖市钟埭街道段墅路158号1楼西侧
- 发明人: 科廷表面科技(浙江)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种DLC溅射等离子涂层工艺及涂层装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311644806.X |
| 申请日 | 2023/12/1 |
| 公告号 | CN117626201A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 科廷表面科技(浙江)有限公司 |
| 发明人 | 雷霈; 张久爱; 俞国军; 王雷 |
| 地址 | 浙江省嘉兴市平湖市钟埭街道段墅路158号1楼西侧 |
专利主权项内容
1.一种DLC溅射等离子涂层装置，其特征在于：包括真空室(1)，所述真空室(1)顶端安装有固定架(2)，所述固定架(2)的底端固接有喷射组件(3)，所述喷射组件(3)包括喷射源、靶材，所述真空室(1)的内部且位于喷射组件(3)的下方转动连接有转动架(4)，所述转动架(4)通过外部伺服电机驱动，所述转动架(4)的外部均匀开设有多个安装槽，所述安装槽外部设置有弹性限位框架(15)，所述转动架(4)的内部插接有连接架(5)，所述连接架(5)的内部固接有多个偏压电极(10)，多个所述偏压电极(10)与安装槽一一对应，所述喷射组件(3)与偏压电极(10)相对时可以产生负偏压进而能够在待镀工件表面镀上一层致密的膜层，所述转动架(4)内部设置有供电组件，所述供电组件用以向只正对于喷射组件(3)的安装槽所对应的偏压电极(10)供电。