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一种共烧型多层压电致动器
摘要文本
本发明涉及半导体器件领域，公开了一种共烧型多层压电致动器，包括：多个层叠的压电陶瓷层；介于相邻压电陶瓷层间的内电极；与内电极处于同一平面的电极缺失区；与内电极电连接的外电极。电极缺失区包括压应力形成区，和介于内电极与压应力形成区之间的间隔区；相邻压应力形成区位于压电陶瓷层的不同边角处，位于同一边角处的压应力形成区的边长沿纵向先递增后递减或相反；位于同一边角处的相邻间隔区在垂直于纵向的平面上的投影呈无重合的错位分布。本发明通过压应力形成区可减缓内电极边缘的压电陶瓷的内应力，从而提高多层压电致动器的性能和使用寿命。同时本发明通过压应力形成区的错位设计，进一步减缓了多层堆叠的厚度差异积累问题。
申请人信息
- 申请人:乌镇实验室
- 申请人地址:314500 浙江省嘉兴市桐乡市梧桐街道稻乐路925号
- 发明人: 乌镇实验室
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种共烧型多层压电致动器 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311714475.2 |
| 申请日 | 2023/12/14 |
| 公告号 | CN117412660A |
| 公开日 | 2024/1/16 |
| IPC主分类号 | H10N30/50 |
| 权利人 | 乌镇实验室 |
| 发明人 | 钭忠尚; 姚方周; 于东方; 陈斌杰; 鞠敏 |
| 地址 | 浙江省嘉兴市桐乡市梧桐街道稻乐路925号 |
专利主权项内容
1.一种共烧型多层压电致动器，其特征在于包括：多个层叠的矩形的压电陶瓷层；介于相邻压电陶瓷层之间且设于压电陶瓷层表面的内电极；与内电极处于同一平面的矩形的电极缺失区；与内电极电连接的外电极；其中，所述电极缺失区包括矩形的压应力形成区，和介于内电极与压应力形成区之间的L型的间隔区；纵向上相邻压应力形成区分别位于压电陶瓷层的同一侧边的不同边角处，且位于同一边角处的压应力形成区的边长沿纵向先递增后递减或先递减后递增；纵向上位于同一边角处的相邻间隔区在垂直于纵向的平面上的投影呈现为无重合的错位分布；所述压电陶瓷层的边长为10~30mm，压应力形成区的边长为0.1~2mm，间隔区的宽度为0~0.2mm；压应力形成区比内电极厚0.1~2μm；相邻两个所述投影的横向间距为0.02~0.5mm。