一种晶圆翻转机构和晶圆前端传输设备

专利主权项内容

1.一种晶圆翻转机构，包括设置在安装座上的翻转装置和夹持装置，所述夹持装置能夹持一片晶圆，所述夹持装置在翻转装置驱动下翻转，其特征在于：所述夹持装置包括：固定板，所述固定板竖直设置并与翻转装置连接，所述固定板在翻转装置驱动下旋转；夹持组件，所述夹持组件设置有两个，两个所述夹持组件与固定板同步翻转且能沿固定板相背或相向运动，两个所述夹持组件通过连杆组件连接，所述晶圆夹持在两个夹持组件之间；弹性件，所述弹性件固定在固定板上并与夹持组件连接，所述弹性件始终为两个所述夹持组件的相向运动提供拉力，在所述夹持组件翻转过程中，仅通过所述弹性件拉动两个夹持组件相向运动以夹持晶圆，使所述晶圆在翻转过程中始终夹持在两个夹持组件之间；驱动组件，所述驱动组件设置在安装座上并位于固定板的下方，两个所述夹持组件能交替与驱动组件插接，且所述驱动组件仅当晶圆在 O°或翻转到 180°时，与一个所述夹持组件插接，所述驱动组件用于驱动与其插接的一个夹持组件上下移动，并通过连杆组件带动另一个夹持组件进行反向移动。