← 返回列表
一种晶圆边缘研磨机研磨装置
摘要文本
本发明涉及晶圆边缘研磨机研磨技术领域，且公开了一种晶圆边缘研磨机研磨装置，包括设备外壳，设备外壳的顶部固定连接有固定台，设备外壳的底部中轴处固定连接有驱动电机。本发明通过设置打磨机构，当驱动电机的输出轴旋转带动输出转轴发生旋转，输出转轴旋转带动顶部的打磨箱发生旋转，此时打磨机构也开始旋转，当调节机构中的摩擦环配合连动杆二拉动连动杆一，旋转轴会带动向里挤压复位弹簧，此时旋转轴带动顶端的晶圆本体边缘挤压打磨块，此时打磨块在滑动槽内滑动挤压挤压弹簧，这样设置有利于挤压晶圆本体的边缘，使得晶圆本体边缘打磨有一定的压力从而使打磨更快。
申请人信息
- 申请人:浙江吉进科技有限公司
- 申请人地址:314499 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道经济开发区芯中路8号408室
- 发明人: 浙江吉进科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆边缘研磨机研磨装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311849770.9 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN117754392A |
| 公开日 | 2024/3/26 |
| IPC主分类号 | B24B9/06 |
| 权利人 | 浙江吉进科技有限公司 |
| 发明人 | 鲁酉明 |
| 地址 | 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道经济开发区芯中路8号408室 |
专利主权项内容
1.一种晶圆边缘研磨机研磨装置，包括设备外壳(1)，所述设备外壳(1)的顶部固定连接有固定台(11)，所述设备外壳(1)的底部中轴处固定连接有驱动电机(12)，所述驱动电机(12)的输出端固定连接有输出转轴(13)，所述输出转轴(13)的中部固定连接有齿轮盘(14)，所述输出转轴(13)远离驱动电机(12)的一端固定连接有打磨箱(15)，所述固定台(11)上设置有晶圆本体(16)，所述设备外壳(1)的底部固定连接有若干个支撑腿(17)，其特征在于，还包括：固定机构(2)，所述固定机构(2)包括开设在固定台(11)上的若干个固定槽(201)，所述固定槽(201)的底部开设有若干个透气孔(202)，所述固定台(11)上对应透气孔(202)的底部开设有转轴限位槽(203)。 搜索马 克 数 据 网