一种晶圆减薄机磨削装置
摘要文本
本发明涉及晶圆减薄机技术领域，且公开了一种晶圆减薄机磨削装置，包括底板，所述底板的端部固定连接有支架，所述支架的底部固定连接有支撑杆，所述底板的顶部固定连接有工作台，所述底板的顶部固定连接有限位架，所述限位架的中心固定连接有连接块，所述工作台的内部开设有圆槽，所述底板的中心开设有通孔，所述通孔的内壁固定连接有凹孔板，所述底板的底部设置有收集部件。本发明在底板的顶部设置有工作台，工作台通过圆槽与通孔相互连通，晶圆磨削之后的废料会通过圆槽进入至通孔的内部，通孔通过凹孔板将废料排入至收集部件的内部，避免晶圆在磨削时出现废料四溅的情况，在限位架的下端设置有磨削部件，通过磨削部件对晶圆进行磨削加工。
申请人信息
- 申请人:浙江吉进科技有限公司
- 申请人地址:314499 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道经济开发区芯中路8号408室
- 发明人: 浙江吉进科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆减薄机磨削装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311849777.0 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN117754382A |
| 公开日 | 2024/3/26 |
| IPC主分类号 | B24B7/22 |
| 权利人 | 浙江吉进科技有限公司 |
| 发明人 | 陈超 |
| 地址 | 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道经济开发区芯中路8号408室 |
专利主权项内容
1.一种晶圆减薄机磨削装置，包括底板(1)，所述底板(1)的端部固定连接有支架(2)，所述支架(2)的底部固定连接有支撑杆(3)，所述底板(1)的顶部固定连接有工作台(4)，所述底板(1)的顶部固定连接有限位架(5)，所述限位架(5)的中心固定连接有连接块(6)，所述工作台(4)的内部开设有圆槽(7)，所述底板(1)的中心开设有通孔(8)，所述通孔(8)的内壁固定连接有凹孔板(9)，所述底板(1)的底部设置有收集部件(12)，其特征在于，还包括：磨削部件(10)，所述磨削部件(10)包括电推杆(21)，所述电推杆(21)的顶部与连接块(6)的底部固定连接，所述电推杆(21)的底部固定连接有电机(20)，所述电机(20)的输出端固定连接有驱动齿轮(23)，所述电推杆(21)的上表面固定连接有定位环(22)；固定部件(11)，所述固定部件(11)包括圆杆(31)，所述圆杆(31)与底板(1)的内壁固定连接，所述圆杆(31)的上表面固定连接有固定架(32)，所述固定架(32)远离圆杆(31)的一端固定连接有限位环(35)，所述限位环(35)的内壁固定连接有圆球杆(36)，所述圆球杆(36)的上表面固定连接有弯杆(33)，所述弯杆(33)远离圆球杆(36)的一端固定连接有磨削架(34)。