一种晶圆离心夹持结构

专利主权项内容

1.一种晶圆离心夹持结构，其特征在于，所述晶圆离心夹持结构包括：转盘，所述转盘具有转动中心，所述转盘设有多个转动槽，所述转动槽围绕所述转动中心设置；晶圆支撑件，所述晶圆支撑件围绕所述转动中心，设置于所述转盘上，所述晶圆支撑件顶部为晶圆安装位；夹紧组件，所述夹紧组件与所述转动中心的距离大于所述晶圆支撑件与所述转动中心的距离，所述夹紧组件包括压块、转动块和配重块，所述转动块与所述转动槽转动连接，所述压块连接所述转动块并伸出于所述转盘的顶面，所述配重块连接所述转动块并伸出于所述转盘的底面；所述晶圆支撑件还包括：晶圆限位柱，所述晶圆限位柱连接所述支撑凸台远离所述转动中心的一侧，并且所述晶圆限位柱凸出于所述晶圆安装位，所述晶圆限位柱的顶端具有导向面；所述晶圆安装位为斜面或弧面，呈内低外高，对放置在所述晶圆安装位上的晶圆起到导向和对中作用，晶圆沿所述晶圆安装位滑动可以实现晶圆与所述转动中心的同心。