一种用于PVT炉合成碳化硅粉新热场的吸氮处理方法

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本申请公开了一种用于PVT炉合成碳化硅粉新热场的吸氮处理方法，处理方法包括以下步骤，预处理步骤：将吸附剂进行高温除碳，得到预处理后的吸附剂；新热场吸氮步骤：将预处理后的吸附剂置于新热场的坩埚内，升温加压并维持一段时间，冷却后取出吸附剂；合成步骤：将硅粉和石墨粉混合均匀，置于新热场的坩埚内进行碳化硅粉体的合成反应，得到块状碳化硅，将碳化硅破碎、研磨、筛分、除碳、清洗和烘干，得到碳化硅粉体，可用于碳化硅单晶生长。本申请选用的吸附剂为碳化硅，节约经济成本，且除氮效果好。