具有催化活性的复合抛光磨粒及其制备方法

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本发明属于化学机械抛光领域，提出了一种具有催化活性的复合抛光磨粒及其制备方法，该复合抛光磨粒包括二氧化硅磨粒以及负载在所述二氧化硅磨粒上的活性组分，所述活性组分用于提供所述二氧化硅磨粒的催化活性，所述二氧化硅磨粒为实心磨粒或介孔磨粒，且所述复合抛光磨粒的直径为10 nm‑150 nm，比表面积为40 m2/g‑450 m2/g。本发明的具有催化活性的复合抛光磨粒，其自身具有催化活性，其在承担机械作用的同时又起到催化的作用，使得抛光过程无需外加催化剂，可以避免在金属表面引入外来污染，减少了抛光成本。