核壳结构的复合磨粒及其制备方法和CMP浆料

摘要文本

本发明属于化学抛光领域，具体涉及一种核壳结构的复合磨粒及其制备方法和CMP浆料。所述核壳结构的复合磨粒包括纳米二氧化硅内核，以及形成在所述纳米二氧化硅内核表面上的壳层，所述壳层包括多种晶型的氧化铝、二氧化硅与氧化铝的结晶相中的至少两种。本发明的核壳结构的复合磨粒，外部壳层为多晶型氧化铝或二氧化硅与氧化铝的结晶相，硬度较大，可使得复合磨粒颗粒的硬度升高。