← 返回列表

一种单晶炉连续拉晶多次加料装置

申请号: CN202311422580.9
申请人: 杭州顶星电子有限公司
申请日期: 2023/10/31

摘要文本

本发明公开了一种单晶炉连续拉晶多次加料装置,包括拉晶炉,其包括设置于进料口上的供料斗,所述供料斗的下料口内对称设置有弧形缓冲囊,还包括由所述弧形缓冲囊内延伸至外侧的滑杆,且位于外侧的一端上分别设置有第一卡接块和第二卡接块,所述第一卡接块和第二卡接块相邻一侧分别设置有:位于端部的斜面引导部,卡接槽,在内部预定气压作用下两个所述弧形缓冲囊挤压形成一接触面,且在该状态,所述第一卡接块和第二卡接块通过斜面引导部滑动配合使两个卡接槽扣合。该发明提供的单晶炉连续拉晶多次加料装置,通过缓冲杆实现了硅块下料时的缓冲,以及单晶炉体内与入料斗之间的密封,防止下料时空气进入单晶炉内。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种单晶炉连续拉晶多次加料装置
专利类型 发明申请
申请号 CN202311422580.9
申请日 2023/10/31
公告号 CN117448941A
公开日 2024/1/26
IPC主分类号 C30B15/02
权利人 杭州顶星电子有限公司
发明人 严才根; 廖加彬; 李忠泽; 程水宫; 丁双富
地址 浙江省杭州市临平区塘栖镇宏畔村10组

专利主权项内容

1.一种单晶炉连续拉晶多次加料装置,包括拉晶炉(13),其包括设置于进料口上的供料斗,其特征在于,所述供料斗的下料口内对称设置有弧形缓冲囊(42);还包括由所述弧形缓冲囊(42)内延伸至外侧的滑杆(43),且位于外侧的一端上分别设置有第一卡接块(431)和第二卡接块(432);所述第一卡接块(431)和第二卡接块(432)相邻一侧分别设置有:位于端部的斜面引导部(434);卡接槽(433);在内部预定气压作用下两个所述弧形缓冲囊(42)挤压形成一接触面,且在该状态,所述第一卡接块(431)和第二卡接块(432)通过斜面引导部(434)滑动配合使两个卡接槽(433)扣合。