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氧化亚硅生产设备
摘要文本
本发明涉及一种氧化亚硅生产设备，包括依次连通的高温室、过渡室以及低温室，三者内部分别设置有相互独立的加热组件，高温室内固设有原料装填量大于300kg的坩埚；通过在高温室、过渡室以及低温室内设置相互独立的加热组件，对各个仓室独立进行加热控温，以确保各个仓室的温度能够控制在有效区域内，以满足实际生产需求，达到提高制备效率的效果；此外，为过渡室设置加热组件独立加热控温，能够确保过渡室内的物料维持气相状态，并保持气相状态进入低温室参与后续的沉积步骤，尽可能减少因过渡室内温度不够从而导致过渡室内的物料状态发生改变，进而导致产品反应不完全的情况发生，从而提高沉积效果。 来自马克数据网
申请人信息
- 申请人:杭州嘉悦智能设备有限公司
- 申请人地址:311421 浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢202室
- 发明人: 杭州嘉悦智能设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 氧化亚硅生产设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311830633.0 |
| 申请日 | 2023/12/28 |
| 公告号 | CN117466304A |
| 公开日 | 2024/1/30 |
| IPC主分类号 | C01B33/18 |
| 权利人 | 杭州嘉悦智能设备有限公司 |
| 发明人 | 李迎春; 王岳琴; 高光平; 何川; 倪狄 |
| 地址 | 浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢202室 |
专利主权项内容
1.一种氧化亚硅生产设备，其特征在于，包括依次连通的高温室(100)、过渡室(200)以及低温室(300)，三者内部分别设置有相互独立的加热组件，所述高温室(100)内固设有原料装填量大于等于300kg的坩埚(111)。