冷凝收集结构及氧化亚硅生产设备
摘要文本
本发明涉及一种冷凝收集结构及氧化亚硅生产设备。该冷凝收集结构包括液循环组件、支架以及驱动组件；所述液循环组件包括进出接头以及液循环通路，所述液循环通路包括依次连通的内管、收集件以及外管，所述内管与所述外管同心设置；所述进出接头与所述外管转动连接，所述内管延伸至所述进出接头内，所述进出接头开设有分别与所述内管以及所述外管对应连通的内管口以及外管口，其中一者用于进液，另一者用于出液；所述液循环组件以所述内管的中轴线为转动中心转动连接于所述支架，所述驱动组件用于驱动所述液循环组件转动。。关注公众号马 克 数 据 网
申请人信息
- 申请人:杭州嘉悦智能设备有限公司
- 申请人地址:311421 浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢202室
- 发明人: 杭州嘉悦智能设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 冷凝收集结构及氧化亚硅生产设备 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311830887.2 |
| 申请日 | 2023/12/28 |
| 公告号 | CN117488274B |
| 公开日 | 2024/3/26 |
| IPC主分类号 | C23C16/448 |
| 权利人 | 杭州嘉悦智能设备有限公司 |
| 发明人 | 高光平; 李迎春; 王岳琴; 倪狄; 何川 |
| 地址 | 浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢202室 |
专利主权项内容
1.一种冷凝收集结构，其特征在于，包括液循环组件(10)、支架(20)以及驱动组件(30)；所述液循环组件(10)包括进出接头(14)以及液循环通路，所述液循环通路包括依次连通的内管(11)、收集件(12)以及外管(13)，所述内管(11)与所述外管(13)同心设置；所述进出接头(14)与所述外管(13)转动连接，所述内管(11)延伸至所述进出接头(14)内，所述进出接头(14)开设有分别与所述内管(11)以及所述外管(13)对应连通的内管口(141)以及外管口(142)，所述内管(11)用于进液，所述外管(13)用于出液；所述液循环组件(10)以所述内管(11)的中轴线为转动中心转动连接于所述支架(20)，所述驱动组件(30)用于驱动所述液循环组件(10)转动；所述液循环组件(10)还包括接头法兰(15)，所述进出接头(14)与所述接头法兰(15)的一端固定，所述外管(13)与所述接头法兰(15)的另一端转动连接，以通过所述接头法兰(15)连通所述外管(13)以及所述外管口(142)；所述内管(11)贯穿所述接头法兰(15)至所述进出接头(14)内，并与所述进出接头(14)固定，以连通所述内管(11)和所述内管口(141)；所述进出接头(14)沿所述内管(11)轴线方向开设有连接腔(143)、沿所述内管(11)径向方向开设有所述内管口(141)以及所述外管口(142)，其中，所述外管口(142)与所述连接腔(143)连通；所述内管口(141)位于所述连接腔(143)远离所述收集件(12)的一侧，所述内管(11)贯穿所述连接腔(143)至所述内管口(141)内。