一种基于老化测试的半导体器件分选方法及系统

专利主权项内容

1.一种基于老化测试的半导体器件分选方法，其特征在于，具体包括如下步骤：预先构建半导体老化测试系统，其中，半导体老化测试系统包括移动组件、测试座、分选机械手及控制装置；控制装置控制移动组件将呈放待测半导体的第一料盒移至第一预定位置；控制装置控制分选机械手从第一料盒中取出待测半导体，并将待测半导体放入在测试座第二预定位置的第二料盒中，进行老化测试；控制装置获取待测半导体的老化测试数据，并基于对老化测试数据的分析，控制分选机械手对待测半导体进行分选；控制装置包括处理器及监测组件，监测组件包括设置于移动组件的位移传感器、设置于分选机械手的视觉识别器以及设置于测试座的老化测试传感器，处理器与监测组件、移动组件及分选机械手信号连接，通过接收的监测组件的信号控制移动组件及分选机械手，并分析老化测试数据；第一料盒包括压紧架以及压测盖，压测盖与压紧架之通过卡扣卡合，形成呈放待测半导体的空腔；分选机械手包括分设边缘的第一夹爪、第二夹爪以及设置在分选机械手内部的第三夹爪和可伸缩的吸杆；控制装置控制分选机械手从第一料盒中取出待测半导体，具体包括如下步骤：控制装置控制分选机械手移动至第一预定位置；驱动第一夹爪、第二夹爪执行夹取动作，夹取压紧架的边缘并抬起至最大角度；使得第三夹爪推动卡扣，第一夹爪、第二夹爪夹取压测盖的侧边并抬升至最大位置；分选机械手伸出吸杆，从第一料盒中吸取出待测半导体；控制装置控制分选机械手移动至第一预定位置，具体包括如下步骤：预先构建定位模型，其中，定位模型通过在尺度空间内识别设置的关键点进行位置确定；控制装置控制分选机械手沿预设轨迹移动，移动过程中分选机械手的视觉识别器实时采集定位图像，并将定位图像传送至处理器；处理器通过关键点定位，结合预存的参考图像分析定位图像，其中，关键点设置于压紧架的边缘以及压测盖的侧边，分析定位图像，具体表示为：
；其中，i为关键点的编号，为定位图像中i关键点映射到参考图像中的坐标位置，/>为i关键点在定位图像中的坐标位置，/>为参考图像中i关键点的目标坐标位置，h，……，h为预设数值，/>为累计偏差；1133基于对定位图像分析结果的反馈，确定分选机械手移动至第一预定位置。