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一种极紫外物镜装调全息图的制备系统和制备方法
摘要文本
本发明公开了一种极紫外物镜装调全息图的制备系统和制备方法。本发明极紫外物镜装调全息图的制备系统通过光纤阵列结构的设计可以实现高通量，同一时间由于光纤阵列中有多根光纤，所以通量是常规刻写的多倍。本发明通过光纤阵列的设计，可以实现高通量刻写，提高刻写效率，同时能够生产出亚波长纳米结构的大面积计算全息片(CGH)，进一步降低了计算全息片的特征线宽，线宽可以达到nm级别，采用亚波长纳米结构的大面积计算全息片，解决了现有极紫外光刻物镜系统中，非球面面形高精度检测需求。
申请人信息
- 申请人:浙江大学杭州国际科创中心
- 申请人地址:311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号
- 发明人: 浙江大学杭州国际科创中心
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种极紫外物镜装调全息图的制备系统和制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311672579.1 |
| 申请日 | 2023/12/7 |
| 公告号 | CN117369222A |
| 公开日 | 2024/1/9 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 浙江大学杭州国际科创中心 |
| 发明人 | 卞殷旭; 卢俊一; 匡翠方; 程炳森; 潘杭凯; 刘旭; 李海峰 |
| 地址 | 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号 |
专利主权项内容
1.一种极紫外物镜装调全息图的制备系统，包括刻写子系统和成像照明子系统，其特征在于，所述刻写子系统包括激光器和光纤阵列，所述光纤阵列包括若干根成阵列排列的光纤，所述激光器包括多个，各激光器与所述光纤阵列中的光纤一一对应，通过控制激光器的开关强弱来实现当前需要有光出射的光纤出射激光开关强弱，所述刻写子系统还包括沿光路从上游到下游布置的第一物镜、场镜、第一二向色镜、第二物镜和工作台组件，所述工作台组件包括用于放置待加工基板、可在三个维度方向上移动的工作台、可在XY方向0~5°任意调节的偏摆台。