MEMS气体传感器阵列的信号采集方法及系统

专利主权项内容

1.一种MEMS气体传感器阵列的信号采集方法，其特征在于，包括以下步骤：实时获取第一环境温湿度数据及第二环境温湿度数据，其中，第二环境温湿度数据包括第二温度数据及第二湿度数据，在测试板上设置有第一温湿度传感器，在靠近传感器阵列最近点还设有第二温湿度传感器；基于预设加热模型对预设加热电压进行调整，使得加热温度达到预设加热温度，其中，预设加热模型基于第二环境温度数据及加热电压构建；当加热温度处于平衡时，对气体传感器阵列中待测传感器的信号电压进行采集，得到第一采集信号电压数据；基于预设补偿模型对所述第一采集信号电压数据进行补偿，得到补偿信号电压数据，其中，所述补偿模型基于第一环境温湿度数据、第二环境湿度数据及第一采集信号电压数据进行构建；其中，所述预设加热模型，表示如下：其中，与/>为固定常数，/>表示传感器阵列内部的加热温度，/>表示第j个第二环境温度数据，m表示第二温湿度传感器的数量，/>为加热电压；其中，所述基于预设补偿模型对所述第一采集信号电压数据进行补偿，得到补偿信号电压数据，包括以下步骤：基于所述第一环境温湿度数据及第二环境湿度数据构建补偿模型，进而得到信号电压数据的动态变化值，所述补偿模型，表示如下：其中，表示信号电压数据的动态变化值，/>表示第i个第一环境湿度数据，/>表示第j个第二环境湿度数据，/>与/>表示为固定常数，/>表示第一环境温度数据，n表示第一温湿度传感器的数量，m表示第二温湿度传感器的数量；基于信号电压数据的动态变化值对第一采集信号电压数据进行补偿，得到补偿后信号电压数据，表示如下：其中，表示补偿后信号电压数据，/>表示信号电压数据的动态变化值，/>表示第一采集信号电压数据。