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一种用于半导体光电器件微区带宽测试系统及方法
摘要文本
本发明提供的一种用于半导体光电器件微区带宽测试系统及方法，包括激光器、调制系统、确定性光路、精密位移控制器、前置放大器、锁相放大器和PC端控制模块。本发明的的一种用于半导体光电器件微区带宽测试系统及方法在传统的带宽测试方法上首次提出了器件扫描的方式来测量器件微区的带宽，通过此方法不仅可以减小传统方法因光照射器件微区不同而导致的带宽测量误差，还可以表征器件微区最佳工作点。本发明使用方便，适用范围广，易于维护，具有良好的应用前景。
申请人信息
- 申请人:国科大杭州高等研究院
- 申请人地址:310024 浙江省杭州市西湖区象山支弄1号
- 发明人: 国科大杭州高等研究院
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于半导体光电器件微区带宽测试系统及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311753954.5 |
| 申请日 | 2023/12/20 |
| 公告号 | CN117452175A |
| 公开日 | 2024/1/26 |
| IPC主分类号 | G01R31/26 |
| 权利人 | 国科大杭州高等研究院 |
| 发明人 | 胡伟达; 许相豹; 李庆; 仲方 |
| 地址 | 浙江省杭州市西湖区转塘街道象山支弄1号 |
专利主权项内容
1.一种用于半导体光电器件微区带宽测试系统，其特征在于：包括激光器、调制系统、确定性光路、精密位移控制器、前置放大器、锁相放大器和PC端控制模块，所述激光器提供半导体光电器件测试所需光源，所述调制系统调控激光光源的频率，用于获得不同频率下的光响应，所述确定性光路调节光源的照射位置，使得激光光源照射到半导体光电器件上的指定微区位置，所述精密位移控制器通过控制位移平台控制半导体光电器件的移动，所述前置放大器将采集的微弱电信号进行放大，输出电信号至锁相放大器；所述锁相放大器对电信号进行积分放大，并获得光电流信号值；PC端控制模块包括数据传输模块、数据存储模块和数据处理模块，数据传输模块分别与精密位移控制器和锁相放大器连接，分别获得待测微区位置信息和光电流信号值；数据存储模块摘取测得的微区位置信息和光电流信号值，建立若干个同一频率下不同位置点的光电流信号值，将其汇总成若干个同一频率下不同位置点的光电流信号值矩阵；数据处理模块将每一个频率下不同位置点的光电流信号值矩阵处理为同一位置点不同频率值，从而计算不同微区位置的带宽值。。百度搜索马 克 数 据 网