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基于互补开口谐振环结构的挥发性有机物液体、气体传感器及其检测方法
摘要文本
本发明公开了一种基于互补开口谐振环结构的挥发性有机物液体、气体传感器及其检测方法；挥发性有机物液体传感器包括互补开口谐振环结构和液体微流道；挥发性有机物气体传感器包括互补开口谐振环结构和气体吸附层。本发明通过激光挖槽工艺在CSRR电场集中区域的基底处开设谐振环形槽状结构，减小基底中分布电场对CSRR结构的不利影响，提高了传感器检测灵敏度；并且在CSRR结构上方分别设置VOCs液体微流道和气体吸附层，分别设计出面向VOCs液体和气体的微波传感器，实现VOCs在水溶液和空气中不同浓度的灵敏测量，使其能满足目前VOCs检测领域高灵敏度的实际需求。
申请人信息
- 申请人:浙江大学
- 申请人地址:310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 发明人: 浙江大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基于互补开口谐振环结构的挥发性有机物液体、气体传感器及其检测方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311710893.4 |
| 申请日 | 2023/12/13 |
| 公告号 | CN117705828A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | G01N22/00 |
| 权利人 | 浙江大学 |
| 发明人 | 曹云琦; 马志强; 傅梦瑶; 池豪镇; 侯迪波 |
| 地址 | 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号 |
专利主权项内容
1.一种基于互补开口谐振环结构的液体传感器，其特征在于，包括互补开口谐振环结构以及液体微流道；所述互补开口谐振环结构包括上层微波谐振层(4)、中层基底层(5)以及下层信号传输层(6)；所述微波谐振层(4)为金属平面，所述金属平面上刻蚀有用于产生谐振电路的互补开口谐振环，所述互补开口谐振环包括同心设置的外部开口环和内部开口环；所述基底层(5)与微波谐振层(4)接触一侧的表面开设有与互补开口谐振环形状相同的凹槽；所述信号传输层(6)包括一条微带线；所述微带线长度与基板基底层(5)的长度相同，微带线两端连接有SMA接头；所述液体微流道粘附在互补开口谐振环结构的互补开口谐振环区域上表面；液体微流道的中部为半圆环状流道，所述半圆环状流道的内径和外径均与外部开口环的内径和外径相同且所述半圆环状流道设置在外部开口环背向开口一侧的上方。