一种高精度晶圆分选机
摘要文本
本发明公开了一种高精度晶圆分选机，属于晶圆分选技术领域，包括分选本体，分选本体的内部配置有分选腔室，分选腔室内设有移动台和检测组件，检测组件设于移动台的上方；移动台配置吸附组件；吸附组件包括支撑盘，支撑盘的底部与移动台相配合，支撑盘内部与移动台内部气路连通；支撑盘的外部套设有第一吸盘，第一吸盘包括用于与移动台抵接的贴合部，贴合部的上表面配置有向上延伸的支撑部，支撑部配置有通孔。本发明设置吸附组件对晶圆进行精准定位，能够提高检测过程中晶圆的水平度和稳定性，并可防止晶圆产生形变，进而保证检测结果的可靠性，提高晶圆分选的准确性。
申请人信息
- 申请人:无锡星微科技有限公司杭州分公司
- 申请人地址:310000 浙江省杭州市翠苑街道翠苑二区8-2幢配套用房1740室
- 发明人: 无锡星微科技有限公司杭州分公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种高精度晶圆分选机 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311743958.5 |
| 申请日 | 2023/12/19 |
| 公告号 | CN117415034B |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | B07C5/00 |
| 权利人 | 无锡星微科技有限公司杭州分公司 |
| 发明人 | 陆敏杰; 贺慧平; 王兆昆 |
| 地址 | 浙江省杭州市翠苑街道翠苑二区8-2幢配套用房1740室 |
专利主权项内容
1.一种高精度晶圆分选机，包括分选本体(10)，所述分选本体(10)的内部配置有分选腔室，所述分选腔室的内部配置有移动台(20)和检测组件(16)，所述检测组件(16)设于所述移动台(20)的上方；其特征在于，所述移动台(20)配置有吸附组件(30)；所述吸附组件(30)包括支撑盘(31)，所述支撑盘(31)的底部与所述移动台(20)相配合，所述支撑盘(31)的内部与所述移动台(20)的内部气路连通；所述支撑盘(31)的外部套设有第一吸盘(41)，所述第一吸盘(41)包括用于与所述移动台(20)抵接的贴合部(43)，所述贴合部(43)的上表面配置有向上延伸的支撑部(42)，所述支撑部(42)配置有通孔(44)；所述第一吸盘(41)顶部的侧方配置有第一延伸环(45)，所述第一延伸环(45)的上表面配置有向上延伸的第二吸盘(46)；所述支撑盘(31)的内部配置有上下贯通的气流通道(32)；所述支撑盘(31)的上表面配置有支撑条(33)，所述支撑条(33)环绕配置在所述气流通道(32)的外围；所述支撑条(33)的设置使得晶圆与所述支撑盘(31)之间存在间隙，使得所述支撑盘(31)与所述移动台(20)内部的气路与所述通孔(44)始终处于连通状态。