一种具有高精度定位的垂直移动平台
摘要文本
本发明公开了一种具有高精度定位的垂直移动平台，涉及精密仪器技术领域，一种具有高精度定位的垂直移动平台包括基座和第二移动模组，基座顶侧相对设置两第一移动模组，第二移动模组两端分别可滑动的安装在两第一移动模组上方，第二移动模组设有第三移动模组，第三移动模组上可移动的设有装载台，装载台水平设置，第一移动模组、第二移动模组和第三移动模组可实现装载台在三维移动。本发明的目的在于提供一种精度高、移动速度快且散热效果好的一种具有高精度定位的垂直移动平台。
申请人信息
- 申请人:无锡星微科技有限公司杭州分公司
- 申请人地址:310000 浙江省杭州市西湖区翠苑街道翠苑二区8-2幢配套用房1740室
- 发明人: 无锡星微科技有限公司杭州分公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种具有高精度定位的垂直移动平台 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311398656.9 |
| 申请日 | 2023/10/26 |
| 公告号 | CN117124097B |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | B23Q1/25 |
| 权利人 | 无锡星微科技有限公司杭州分公司 |
| 发明人 | 陆敏杰; 沈恒宇 |
| 地址 | 浙江省杭州市西湖区翠苑街道翠苑二区8-2幢配套用房1740室 |
专利主权项内容
1.一种具有高精度定位的垂直移动平台，包括基座(1)和第二移动模组(2)，所述基座(1)顶侧相对设置两第一移动模组(3)，所述第二移动模组(2)两端分别可滑动的安装在两第一移动模组(3)上方，其特征在于，所述第二移动模组(2)设有第三移动模组(4)，所述第三移动模组(4)上可移动的设有装载台(5)，所述装载台(5)水平设置；所述第三移动模组(4)包括安装架体(41)，所述安装架体(41)中部设有第一通槽(411)，所述安装架体(41)配合设有移动台(42)，所述移动台(42)一侧设有动子组件(43)，所述第一通槽(411)内设有定子组件(44)，所述动子组件(43)与定子组件(44)配合设置，所述移动台(42)背向动子组件(43)一侧设有制动组件(45)，所述移动台(42)与装载台(5)固连；所述制动组件(45)包括两相对设置的液压元件(451)，所述液压元件(451)活动端设有制动板(452)，所述制动板(452)与安装架体(41)侧方平行设置，所述制动板(452)靠近安装架体(41)一侧设有制动件(46)，所述制动件(46)包括辅助制动板(461)，所述辅助制动板(461)中部设有轴承(462)，所述辅助制动板(461)与制动板(452)通过轴承(462)转动连接，所述辅助制动板(461)与安装架体(41)一侧设有辅助制动件(463)；所述辅助制动件(463)包括制动柱(464)，所述制动柱(464)一端周向设有多个滚柱(465)，所述辅助制动板(461)周向设有多个限位孔(466)，所述制动柱(464)设有所述滚柱(465)一端可转动与限位孔(466)配合设置；所述动子组件(43)包括动子(431)和散热基体(47)，所述散热基体(47)内设有腔体(471)，所述腔体(471)内设有第一输送管道(472)，所述散热基体(47)上设有进水口(473)和出水口(474)，所述进水口(473)和出水口(474)与第一输送管道(472)首尾相通；所述第一输送管道(472)沿长度方向两侧设有多个液囊(475)；所述第一输送管道(472)呈U型，所述进水口(473)和出水口(474)在散热基体(47)一侧，所述第一输送管道(472)上的液囊(475)两两相对设置，相邻四个所述液囊(475)之间设有协调组件(6)；所述协调组件(6)包括支撑架体(61)，所述支撑架体(61)侧面延伸设有四个第二弹簧柱(62)，所述第二弹簧柱(62)与液囊(475)相连接，所述支撑架体(61)内径向设置有四根第三弹簧(63)，所述第三弹簧(63)与第二弹簧柱(62)一一配合设置，所述支撑架体(61)内设有移动轴，所述移动轴用于连接对应设置第二弹簧柱(62)和第三弹簧(63)，所述支撑架体(61)中心设有配重球(64)，所述第三弹簧(63)端部与配重球(64)连接。