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无液氦消耗循环制冷系统及液氦温区电子显微镜

申请号: CN202310856620.4
申请人: 西湖大学
申请日期: 2023/7/12

摘要文本

本申请涉及无液氦消耗循环制冷系统,该方案包括无液氦制冷机;铜屏蔽管,一端与无液氦制冷机的屏蔽筒连接,另一端设有一级冷头连接件和二级冷头连接件;一级冷屏,通过铜辫子与一级冷头连接件连接,设于μ金属罩外圈;μ金属罩,通过铜辫子与一级冷头连接件连接,并通过一级冷屏铜辫子与一级冷屏连接,且μ金属罩作为固定环与电子显微镜的下极靴真空连接,同时该μ金属罩通过绝热垫片与样品室的Z轴压电陶瓷支架连接;样品座固定件,通过铜辫子与二级冷头连接件连接。本申请可以长时间达到所需求的液氦温区环境,大大地降低了实验成本,减小了机械振动,提高了横向分辨率,实现电子显微镜的超高分辨。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 无液氦消耗循环制冷系统及液氦温区电子显微镜
专利类型 发明申请
申请号 CN202310856620.4
申请日 2023/7/12
公告号 CN117739612A
公开日 2024/3/22
IPC主分类号 F25D31/00
权利人 西湖大学
发明人 郑昌喜; 王少山; 王宸
地址 浙江省杭州市西湖区转塘街道石龙山街18号

专利主权项内容

1.无液氦消耗循环制冷系统,用于对电子显微镜的样品室冷却,包括无液氦制冷机,其特征在于,还包括:铜屏蔽管,一端与所述无液氦制冷机的屏蔽筒连接,另一端设有一级冷头连接件和二级冷头连接件;一级冷屏,通过铜辫子与所述一级冷头连接件连接,设于μ金属罩外圈;μ金属罩,通过铜辫子与所述一级冷头连接件连接,并通过一级冷屏铜辫子与所述一级冷屏连接,且所述μ金属罩作为固定环与所述电子显微镜的下极靴真空连接,同时该μ金属罩通过绝热垫片与所述样品室的Z轴压电陶瓷支架连接;样品座固定件,通过铜辫子与所述二级冷头连接件连接,该样品座固定件用于供所述样品座插入固定,以实现对所述样品座的冷却;其中,所述一级冷头连接件、所述一级冷屏以及所述μ金属罩组成一级低温系统。