一种光学元件表面质量角分辨检测装置及方法

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本发明公开了一种光学元件表面质量角分辨检测装置及方法，其中，检测装置包括光源模块、高精度经纬扫描平台、安装在经纬扫描平台上的散射信号探测模块、放置待检测光学元件的样品台以及控制样品台的多维运动平台；所述的高精度经纬扫描平台包含水平布置的圆弧齿轨和竖直布置的半圆弧齿轨，所述的半圆弧齿轨通过第一滑块滑动固定在圆弧齿轨上，所述的散射信号探测模块通过第二滑块滑动固定在半圆弧齿轨上；所述的样品台布置在圆弧齿轨的圆心位置。利用本发明，可以实现对光学元件表面散射信号全范围覆盖稳定检测。