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一种光伏半导体生产用石英舟托
摘要文本
本发明公开了一种光伏半导体生产用石英舟托，涉及半导体生产技术领域，包括夹持组件，夹持组件包括摆动调节架，摆动调节架上转动安装有花键轴支架，花键轴支架上固定安装有花键轴和夹持电缸，花键轴上通过花键滑动安装有两个对称设置的夹持摆臂，每个夹持摆臂上均固定安装有用于平衡的配重块，摆动调节架转动安装在支撑摆动架上。本发明可以对晶圆移动过程中的晃动进行实时的补偿，从而减少晶圆的晃动幅度，进而降低晶圆的碰撞概率；可以快速的对晶圆进行降温，从而确保晶圆的质量和稳定性；设置分离通道和隔离通道的配合，可以将空气中的灰尘颗粒与空气分离，防止晶圆在散热的过程中灰尘撞击晶圆表面，从而防止灰尘对晶圆造成损坏。 （macrodatas.cn） （来 自 马 克 数 据 网）
申请人信息
- 申请人:浙江浩鑫半导体材料有限公司
- 申请人地址:313000 浙江省湖州市红丰路1366号3幢1245-6室
- 发明人: 浙江浩鑫半导体材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种光伏半导体生产用石英舟托 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311413965.9 |
| 申请日 | 2023/10/30 |
| 公告号 | CN117690835A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | H01L21/673 |
| 权利人 | 浙江浩鑫半导体材料有限公司 |
| 发明人 | 汤芳; 常永喜; 张勇; 孙秋谨 |
| 地址 | 浙江省湖州市红丰路1366号3幢1245-6室 |
专利主权项内容
1.一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：包括夹持组件，所述夹持组件包括摆动调节架(107)，摆动调节架(107)上转动安装有花键轴支架(104)，花键轴支架(104)上固定安装有花键轴(103)和夹持电缸(105)，所述花键轴(103)上通过花键滑动安装有两个对称设置的夹持摆臂(101)，每个夹持摆臂(101)上均固定安装有用于平衡的配重块(106)，所述摆动调节架(107)转动安装在支撑摆动架(108)上，支撑摆动架(108)上还固定安装有温度控制模块，所述温度控制模块包括汇流室(208)，汇流室(208)上设置有平衡喷嘴(2081)和散热喷嘴(2082)，所述汇流室(208)上固定安装有连接嘴(207)，连接嘴(207)上固定安装有至少三个分离通道(205)，每个分离通道(205)内壁的切线位置固定安装有隔板通道(206)，隔板通道(206)的另一端延伸至分离通道(205)的外侧。 关注微信公众号马克数据网