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一种异形件

申请号: CN202311557646.5
申请人: 湖州幄肯中欣新能源科技有限公司
申请日期: 2023/11/22

摘要文本

本发明提供一种异形件,所述异形件上涂覆有碳化钽涂层,所述碳化钽涂层的制备方法为将金属钽溅射到碳基材料上,然后高温下钽和碳发生反应最终生成碳化钽涂层。本发明在异形件表面直接原位反应形成高均匀性以及高致密度的碳化钽涂层,使得涂层与异形件之间具有更好的结合强度,可以提高异形件的使用寿命。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种异形件
专利类型 发明申请
申请号 CN202311557646.5
申请日 2023/11/22
公告号 CN117535640A
公开日 2024/2/9
IPC主分类号 C23C14/35
权利人 湖州幄肯中欣新能源科技有限公司
发明人 姜涛; 王瑛; 相利学; 代旭明; 唐波
地址 浙江省湖州市长兴县煤山镇南太湖青年科技创业园

专利主权项内容

1.一种异形件,其特征在于,所述异形件表面涂覆有碳化钽涂层,所述碳化钽涂层在异形件表面原位生成,所述碳化钽涂层中的杂质含量为2ppm以下,钽层和碳基材料结合为6MPa以上,所述碳化钽涂层的制备方法为:1)包含碳基材料的异形件的预处理:对包含碳基材料的异形件表面进行预处理;2)磁控溅射沉积钽:利用磁控溅射将金属钽原子溅射至步骤1)表面预处理后的异形件表面;3)真空高温反应:在真空条件下,于1850-2400℃进行反应,整个反应过程在氩气保护气氛下进行。