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降籽晶过程的控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备
摘要文本
本申请涉及一种降籽晶过程的控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备。所述方法包括：获取长晶炉内的实时图像；基于所述实时图像与预先训练的缺陷检测模型，确定所述实时图像中目标区域图像，以及所述目标区域图像的缺陷类型和位置信息；基于所述目标区域图像和所述缺陷类型，判断是否存在融化缺陷；若融化缺陷存在，则控制所述长晶炉提升籽晶和/或降低加热功率，重新降籽晶。采用本方法可以提高降籽晶过程的控制调整及时性。
申请人信息
- 申请人:浙江晶盛机电股份有限公司; 浙江求是半导体设备有限公司
- 申请人地址:312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
- 发明人: 浙江晶盛机电股份有限公司; 浙江求是半导体设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 降籽晶过程的控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311815537.9 |
| 申请日 | 2023/12/27 |
| 公告号 | CN117468083A |
| 公开日 | 2024/1/30 |
| IPC主分类号 | C30B15/20 |
| 权利人 | 浙江晶盛机电股份有限公司; 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 傅林坚; 刘华; 李亮 |
| 地址 | 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号; 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室 |
专利主权项内容
1.一种降籽晶过程的控制方法，其特征在于，所述降籽晶过程的控制方法包括：获取长晶炉内的实时图像；基于所述实时图像与预先训练的缺陷检测模型，确定所述实时图像中目标区域图像，以及所述目标区域图像的缺陷类型和位置信息；所述缺陷检测模型包括依次连接的主干网络、双向融合网络和检测头网络，所述主干网络用于对所述实时图像进行籽晶特征的提取；所述双向融合网络用于对所述籽晶特征进行融合，得到融合籽晶特征；所述检测头网络用于基于融合籽晶特征，确定所述实时图像中目标区域图像，以及所述目标区域图像的缺陷类型和位置信息；基于所述目标区域图像和所述缺陷类型，判断是否存在融化缺陷；若融化缺陷存在，则控制所述长晶炉提升籽晶和/或降低加热功率，重新降籽晶。