晶棒生长控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备

专利主权项内容

1.一种晶棒生长控制方法，其特征在于，所述晶棒生长控制方法包括：获取长晶炉内的实时图像；将所述实时图像输入至预先训练的生长检测模型，得到所述实时图像中目标区域图像，以及晶棒生长检测结果；若所述检测结果为晶棒生长异常，则基于所述目标区域图像重新进行试温拉结；所述生长检测模型包括依次连接的主干网络、颈部网络和检测网络；所述主干网络，用于对所述实时图像进行晶结特征的提取，得到第一晶结特征和第二晶结特征，所述第一晶结特征与所述第二晶结特征的尺度不同；所述颈部网络，用于对所述第一晶结特征和所述第二晶结特征进行融合，得到融合晶结特征；所述颈部网络还包括特征重组上采样模块和通道重组下采样模块，所述特征重组上采样模块用于对所述第一晶结特征进行上采样融合，所述通道重组下采样模块用于对所述第二晶结特征进行下采样融合；所述检测网络，用于基于所述融合晶结特征，确定目标区域图像晶棒生长检测结果。