一种防止功率模块电镀后DBC部位变色的方法、治具
摘要文本
本发明公开了防止功率模块电镀后DBC部位变色的方法，该方法依次包括化学浸泡除油、电解除油、水洗、去氧化、预浸、锡化、中和、铜保护、烘干、检验、退火等步骤，通过该方法使得功率模块产品在热煮去溢料过程中可以充分与热煮软化液接触，保证去溢料效果最大化，防止去溢料过程中使用原有传递弹夹时被药水腐蚀；该方法在锡化线内使用铜保护剂，在功率模块产品DBC部位表面生成一层有机膜，保证其DBC部位不会出现氧化变色异常。本发明还公开了一种治具，该治具适用于有DBC散热系统的所有功率模块产品，使用该发明治具进行产品的装取和烘烤，有效减少了倒换弹夹次数，防止产品散热片与塑封体损伤，从而保证了DBC散热系统与产品锡化后镀层的防护。。关注公众号马 克 数 据 网
申请人信息
- 申请人:华羿微电子股份有限公司
- 申请人地址:710018 陕西省西安市经济技术开发区高铁新城尚稷路8928号
- 发明人: 华羿微电子股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种防止功率模块电镀后DBC部位变色的方法、治具 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311745442.4 |
| 申请日 | 2023/12/19 |
| 公告号 | CN117438322B |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | H01L21/48 |
| 权利人 | 华羿微电子股份有限公司 |
| 发明人 | 刘旭昌; 黄甲林; 孙杰; 冯银龙; 张超; 叶生飞; 芦继业 |
| 地址 | 陕西省西安市经济技术开发区高铁新城尚稷路8928号 |
专利主权项内容
1.一种防止功率模块电镀后DBC部位变色的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、将功率模块产品装入治具中，所述功率模块产品在装入所述治具中时一正一反进行插入放置，使得相邻两条所述功率模块产品DBC部位互相正对放置；步骤二、将装有功率模块产品的所述治具放入第一溶液中进行热煮软化，去除所述功率模块产品DBC部位的溢料和油脂；步骤三、将热煮软化后的所述功率模块产品传送至第二溶液中进行电解除油，传送所述功率模块产品采用钢带进行传送；步骤四、将电解除油后的所述功率模块产品传送至第三溶液中进行去氧化处理；步骤五、将进行去氧化处理后的所述功率模块产品传送至第四溶液中进行润湿；步骤六、将润湿后的所述功率模块产品传送至第五溶液中，在所述功率模块产品的引线框架表面电镀一层锡；步骤七、将引线框架表面电镀一层锡的所述功率模块产品传送至第六溶液中进行锡层保护，所述第六溶液为中和液；步骤八、将通过中和液的所述功率模块产品传送至第七溶液中进行浸泡，浸泡一段时间后在所述功率模块产品DBC部位表面形成均匀、极薄、透明的有机涂覆层；步骤九、将形成有机涂覆层的所述功率模块产品进行烘干；步骤十、将烘干后的所述功率模块产品再次装入治具中，所述功率模块产品在装入所述治具中时一正一反进行插入放置，使得相邻两条所述功率模块产品DBC部位互相正对放置；步骤十一、将装有功率模块产品的所述治具转入充氮烘箱进行退火，退火工艺参数为：升温、降温时长以及恒温时长均为1h，恒温温度为150℃，起始、结束温度均为40℃。