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一种双层复合石英坩埚表面缺陷检测装置及方法
摘要文本
本发明公开了一种双层复合石英坩埚表面缺陷检测装置及方法，该装置包括承重底板、框架结构和滑台，承重底板内设置有用于带动双层复合石英坩埚自转的转盘，框架结构的空档区间设置有面光源，检测设备包括工业相机和激光测量仪；该方法包括步骤：一、构建并训练双层复合石英坩埚表面缺陷检测模型；二、设定锚框；三、获取实际采集图像；四、输出带有边界坐标和类别概率的分类预测结果；五、判断分类预测结果中是否存在目标物；六、记录目标物的位置信息；七、获取目标物的深度信息。本发明全方位检测钳锅，提供面光源辅助，基于图像和测距进行双层复合石英坩埚表面缺陷的检测，检测速度快、精度高、效率高，对每种缺陷的数量都有数据留存便于溯源。。百度搜索马 克 数 据 网
申请人信息
- 申请人:西安科技大学
- 申请人地址:710054 陕西省西安市碑林区雁塔中路58号
- 发明人: 西安科技大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种双层复合石英坩埚表面缺陷检测装置及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311631831.4 |
| 申请日 | 2023/12/1 |
| 公告号 | CN117664983A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | G01N21/88 |
| 权利人 | 西安科技大学 |
| 发明人 | 赵谦; 许东巍; 缪正丽; 郭乔峰 |
| 地址 | 陕西省西安市碑林区雁塔中路58号 |
专利主权项内容
1.一种双层复合石英坩埚表面缺陷检测装置，其特征在于：包括用于盛放双层复合石英坩埚(4)的承重底板(1)、安装在承重底板(1)上且位于双层复合石英坩埚(4)外侧的框架结构和安装在所述框架结构上部且用于带动检测设备移动的滑台，承重底板(1)内设置有用于带动双层复合石英坩埚(4)自转的转盘(2)，所述框架结构的空档区间设置有面光源(6)，所述检测设备包括工业相机(17)和激光测量仪(18)。