一种多晶硅还原尾气的分离方法和分离系统

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本发明提供了一种多晶硅还原尾气的分离方法和分离系统，包括以下步骤：1)对还原尾气进行分离处理，得到回收氢气和混合液；2)利用氯硅烷吸收液对所述回收氢气进行氯化氢吸收处理，得到纯化氢气和氯硅烷富液；3)对所述氯硅烷富液进行第一氯化氢解析处理，得到第一氯硅烷贫液和第一氯化氢气体；4)对所述混合液进行第二氯化氢解析处理，得到第二氯硅烷贫液和第二氯化氢气体。这一分离方法降低了还原尾气回收过程中的能耗，保障了回收氢气、回收氯硅烷等回收产物的质量。