一种自适应衍射相位显微成像装置及方法

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本发明公开了一种自适应衍射相位显微成像装置，包括照明模块、共焦模块、衍射光产生模块和成像模块，其中，照明模块用于产生部分相干光；共焦模块用于利用部分相干光获得携带有样品信息的物光波；衍射光产生模块用于对物光波进行调制以产生含有样品信息的0级和±1级衍射光；成像模块包括相位型空间光调制器，工作面上加载具有像差实时补偿的相位调制图案，用于对包含样品信息的0级衍射光和+1级衍射光的频谱信息进行调制，并产生待测样品的衍射相位图像。本发明利用部分相干光有限的相干长度实现了同轴干涉的衍射相位显微成像，对环境扰动具有很好的免疫性；利用相位型空间光调制器对系统固有的像差进行补偿，可以实现很高的测量精度。