一种亚表面定值校准标准样板

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本发明涉及一种亚表面定值校准标准样板，属于光学计量检测技术领域。解决尚未针对亚表面缺陷检测计量与校准建立起相关的计量体系的问题。包括透明薄膜、定值校准结构和辅助定位结构，所述透明薄膜下侧设置有定值校准结构和辅助定位结构，定值校准结构位于辅助定位结构内侧。本发明通过定值校准结构，并在其表面均匀涂覆透明薄膜，达到真实模拟了亚表面被测结构的实际状态的目的；本发明使用多种结构来进行仪器性能指标的评价与校准溯源，针对性强。