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一种超声驱动液态金属作为导电材料的柔性超声传感器制备方法

申请号: CN202311373036.X
申请人: 哈尔滨工业大学
申请日期: 2023/10/23

摘要文本

来自: 本发明提出了一种超声驱动液态金属作为导电材料的柔性超声传感器制备方法,首先使用超声泵入的方式在预埋铜线的流入道内泵入液态金属;在真空氛围中,通过装夹装置使得经过氧气等离子体处理的封装薄膜缓慢降落于之前得到的材料;再将得到的材料和液态金属电极底板夹住压电有机聚合物,并通过定位板使得压电有机聚合物位于中心位置,再将柔性封装层于真空氛围下粘贴在整体器件下方;最后在缓慢升温后使用600‑720瓦的功率超声对上下两层液态金属电极完成烧结,以确保其电气连通性,完成柔性超声传感器的制备。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种超声驱动液态金属作为导电材料的柔性超声传感器制备方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202311373036.X
申请日 2023/10/23
公告号 CN117597010A
公开日 2024/2/23
IPC主分类号 H10N30/87
权利人 哈尔滨工业大学
发明人 张甲; 李宇阳; 陈佳泰; 李星奇
地址 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

专利主权项内容

1.一种液态金属作为导电材料的柔性超声传感器,其特征在于:所述制备装置包括:有机压电聚合物、一侧含流入道和流出道的柔性电极层、一侧全部为液态金属的电极层、液态金属以及最外部柔性封装层,所述有机压电聚合物即PVDF及其相关多聚体物,其所选厚度根据不同器官为靶目标所需的穿透深度而定;所述一侧含流入道和流出道的柔性电极层作为背衬层:靠近有机压电聚合物,用于提供电气连通性,传递电流或测量传感器的信号;并且贴附于有机压电聚合物,使其可以接受激发并感知外部刺激并产生相应的电声以及声电响应;所述一侧全部为液态金属的电极层,用于传递电流或执行其他特定功能,所述液态金属位于有机压电聚合物的另一侧,以确保有效的电流传导的同时提供共一极的走线形式;所述液态金属在电极层和有机压电聚合物之间传导电流,以触发与测量有机压电聚合物的电声与声电响应;所述最外部柔性封装层用于保护和封装整体柔性超声传感器,用于保护内部的组件和材料。 数据由马 克 数 据整理