基于多目标对向位移测量的外差干涉仪及测量方法
摘要文本
基于多目标对向位移测量的外差干涉仪及测量方法，属于激光应用技术领域。本发明解决了现有的空间分离式外差激光干涉仪不满足对向目标间相对位移测量需求的问题。技术要点：激光光源的输出光路上左右依次并列设置有第一分束器与第二分束器，第一分束器与第二分束器均为偏振分束器；第一分束器的上方设置有第一反射器，第二分束器的右侧设置有第三反射器，第二分束器的前方设置有第二平面反射器，第二分束器的后方设置有第一平面反射器；第一平面反射器和第二平面反射器共同构成第二反射器组；第一分束器的左侧设置有第一光电探测器和第二光电探测器。本发明实现了对向物体间相对位移的测量。
申请人信息
- 申请人:哈尔滨工业大学
- 申请人地址:150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 发明人: 哈尔滨工业大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基于多目标对向位移测量的外差干涉仪及测量方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311538447.X |
| 申请日 | 2023/11/17 |
| 公告号 | CN117553676A |
| 公开日 | 2024/2/13 |
| IPC主分类号 | G01B9/02015 |
| 权利人 | 哈尔滨工业大学 |
| 发明人 | 付海金; 苏晓博; 于亮; 胡鹏程; 潘曌晨; 王智伟 |
| 地址 | 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 |
专利主权项内容
1.基于多目标对向位移测量的外差干涉仪，其特征在于，包括激光光源，用于提供两束不同频率的空间分离光束；两束不同频率的空间分离光束分别定义频率为f的第一输入光束、频率为f的第二输入光束；12所述激光光源的输出光路上左右依次并列设置有第一分束器(PBS1)与第二分束器(PBS2)，第一分束器(PBS1)与第二分束器(PBS2)均为偏振分束器；所述第一分束器(PBS1)，用于将至少一个光束分成参考光束和测量光束；所述第二分束器(PBS2)，用于实现测量光对向物体相对位移量光路结构与第一分束器(PBS1)的分光方向垂直；所述第一分束器(PBS1)的上方设置有第一反射器(FR1)，所述第二分束器(PBS2)的右侧设置有第三反射器(FR2)，第二分束器(PBS2)的前方设置有第二平面反射器(M2)，第二分束器(PBS2)的后方设置有第一平面反射器(M1)；第一平面反射器(M1)和第二平面反射器(M2)共同构成第二反射器组；第二分束器(PBS2)的前端面贴附有第二四分之一波片(QWP2)，后端面贴附有第一四分之一波片(QWP1)；所述第一反射器(FR1)和第二反射器组，用于反射参考光束和测量光束；所述第三反射器(FR2)，用于实现光路分层；所述第一分束器(PBS1)的左侧设置有第一光电探测器(PDm)和第二光电探测器(PDr)；所述第一光电探测器(PDm)和第二光电探测器(PDr)，用于检测与反射后的参考光束和测量光束有关的干涉信号。