一种抑制宏微直线运动平台耦合干扰的线性自抗扰控制方法

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一种抑制宏微直线运动平台耦合干扰的线性自抗扰控制方法，它属于电机控制领域。本发明解决了现有耦合干扰抑制方法的控制律设计过程繁琐，且解耦效果不佳的问题。本发明采取的主要技术方案为：步骤一、建立宏微直线运动平台的力学方程；步骤二、对建立的力学方程进行拉普拉斯变换，得到宏微直线运动平台的等效耦合模型；步骤三、建立直线电机和音圈电机的空间方程，基于直线电机的空间方程和扩张状态观测器估计宏动台的状态变量和耦合误差，基于音圈电机的空间方程和扩张状态观测器估计微动台的状态变量和耦合误差；并根据估计的状态变量和耦合误差设计线性状态误差反馈控制律。本发明方法可以用于对宏微直线运动平台的耦合干扰进行抑制。