基于一体式双偏振分光组件的外差激光干涉仪及测量方法
摘要文本
基于一体式双偏振分光组件的外差激光干涉仪及测量方法，属于激光应用技术领域。本发明解决了现有的空间分离式外差激光干涉仪难以同时满足传感测头体积小、易于集成、热稳定性好及亚纳米级周期非线性误差需求的问题。技术要点：一体式双偏振分光组件的第一偏振分光棱镜和第二偏振分光棱镜并列设置，第一偏振分光棱镜上贴附有第一偏振片、第三偏振片、第一四分之一波片；第二偏振分光棱镜上贴附有第二偏振片、第四偏振片、第二四分之一波片；第一四分之一波片和第二四分之一波片的输出光路上目标反射镜，第三四分之一波片和第四四分之一波片的输出光路上设置有光电探测器。本发明设计装调更加灵活并降低了加工难度和加工误差。 关注公众号
申请人信息
- 申请人:哈尔滨工业大学
- 申请人地址:150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 发明人: 哈尔滨工业大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基于一体式双偏振分光组件的外差激光干涉仪及测量方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311538445.0 |
| 申请日 | 2023/11/17 |
| 公告号 | CN117553675A |
| 公开日 | 2024/2/13 |
| IPC主分类号 | G01B9/02015 |
| 权利人 | 哈尔滨工业大学 |
| 发明人 | 付海金; 苏晓博; 于亮; 胡鹏程; 刘熙正; 杨欣 |
| 地址 | 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 |
专利主权项内容
1.基于一体式双偏振分光组件的外差激光干涉仪，其特征在于，包括：激光光源，用于提供两束不同频率的空间分离光束；两束不同频率的空间分离光束分别定义频率为f的第一输入光束、频率为f的第二输入光束；所述第一输入光束和第二输入光束不必是偏振光；12所述激光光源的输出光路上设置有一体式双偏振分光组件，所述第一输入光束入射至一体式双偏振分光组件后被分成第一测量光束和第一参考光束；第二输入光束入射至一体式双偏振分光组件后被分成第二测量光束和第二参考光束；所述一体式双偏振分光组件包括第一偏振分光棱镜(PBS1)、第二偏振分光棱镜(PBS2)、第一四分之一波片(QWP1)、第二四分之一波片(QWP2)、第三四分之一波片(QWP3)、第四四分之一波片(QWP4)、二分之一波片(HWP)、第一偏振片(POL1)、第二偏振片(POL2)、第三偏振片(POL3)、第四偏振片(POL4)；所述第一偏振分光棱镜(PBS1)和第二偏振分光棱镜(PBS2)左右并列设置，且相邻端面间安装有二分之一波片(HWP)；所述第一偏振分光棱镜(PBS1)的前端面上贴附有第一偏振片(POL1)，左端面上贴附有第三偏振片(POL3)，后端面上贴附有第一四分之一波片(QWP1)；第三偏振片(POL3)上贴附有第三四分之一波片(QWP3)，所述第二偏振分光棱镜(PBS2)的前端面上贴附有第二偏振片(POL2)，右端面上贴附有第四偏振片(POL4)，后端面上贴附有第二四分之一波片(QWP2)；第四偏振片(POL4)上贴附第四四分之一波片(QWP4)；所述第一四分之一波片(QWP1)的输出光路上设置有第一目标反射镜(M1)；所述第二四分之一波片(QWP2)的输出光路上设置有第二目标反射镜(M2)；所述第三四分之一波片(QWP3)的输出光路上设置有第一光电探测器(PDm)；所述第四四分之一波片(QWP4)的输出光路上设置有第二光电探测器(PDr)。