一种用于钨沉积设备的混气结构及混气方法

摘要文本

本发明公开了一种用于钨沉积设备的混气结构及混气方法，混气结构包括双套管进气结构、还原性气体缓存腔、预混腔、混合腔及冷却腔；双套管进气结构内侧套管为金属沉积前驱物进气管道，外侧套管为还原性气体进气管道，金属沉积前驱物进气管道出口收缩后与预混腔连通，还原性气体进气管道与还原性气体缓存腔连通，预混腔位于还原性气体缓存腔内下部，预混腔底端与混合腔连通；冷却腔将双套管进气结构下部、还原性气体缓存腔、混合腔包裹在内进行冷却；还原性气体缓存腔内的还原性气体沿预混腔环周切线方向进气，与预混腔内的金属沉积前驱物正交预混、螺旋下推进入混合腔。本发明混气均匀，同时能够避免颗粒物污染。